1100℃滑轨式管式炉
滑轨式管式炉一体化结构设计，用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
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关键词： 1100℃滑轨式管式炉
产品描述
特点
● 工作温度范围：RT~1000°C。
●额外选配：炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；监控系统（温度记录仪、触摸屏远程监控）；选件需配置拓展柜体。
技术参数
| 设备型号 | 最高温度 | 管径 | 加热区 | 温区数 | 热电偶 | 电压 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 3.0KW |
| FGL(RTP)-90/11/1 | 1100℃ | 90mm | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-100/11/1 | 1100℃ | 100m | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 5.0KW |
| FGL(RTP)-110/11/1 | 1100℃ | 110mm | 320mm | 1个 | K型 | 220V | 5.0KW |
注：给出的最高温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
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